在半導體制造過程中,全自動晶圓缺陷檢測技術對光學成像效果要求很高。檢測分明場和暗場,明暗場大多使用高亮光纖光源成像,觀察硅片的表面缺陷(如崩邊缺角,表面臟污)。樂視科技新升級2代新款高亮光纖光源,同功率下,新款2SLG150比舊款SLG150-W亮度約提升1倍。發光效能高,發熱量低,是半導體檢測的最佳搭配。
產品特點
◆采用多組耦合透鏡設計實現高亮度,高效能
◆外觀簡潔流暢,體積更小巧
◆標配R/G/B/W/CW(高顯指)型5種顏色
◆20mm照度可達到900萬LX
◆適合半導體顯微模組應用
照度特性
型號:LTS-2SLG150-W
注:調光100%、光纖8mm光束,總長1100mm的直型光纖導管,從光纖出光口到各照射距離的位置的實測值(僅為實驗數據,非保證值)。
亮度對比圖
2SLG150光纖光源亮度升級提升一倍。
可配套4款不同集光鏡
照度分布圖(LTS-HL)
照度分布圖(LTS-ML)
可配套4款不同集光鏡
成像灰度對比圖:
相機:ACA1600-20gm
鏡頭:LTS-TC05110-5MP(1倍)
相機曝光:60us
LTS-2SLG150-W 灰度:230
LTS-SLG150-W 灰度:105
顯微模組晶圓應用示意圖
明場檢測
暗場檢測
光源參數
感謝您的觀看,我們下期再會。

